公司前身沈陽芯源先進半導體技術有限公司設立。
2002
開辟8英寸凸點封裝新領域，Track產品銷售到國內最大封裝廠江陰長電。
2005
國內首臺先進封裝領域用12英寸Track產品銷售應用，實現了國產IC裝備在晶片尺寸和新工藝上的重大突破。
2007
獲批承擔國家02重大科技專項“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化”項目。
2008
芯源公司抓住LED產業大發展的機遇，產品成功占領國內LED市場。
2011
獲批承擔國家02重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備研發”項目。
2012
芯源公司產品銷售實現重大突破，先進封裝領域用噴膠設備批量出口到臺灣市場。
2013
芯源公司新廠房建成啟用。新廠房建筑面積7300平方米，其中凈化間和裝配間2200平方米。
2013
芯源公司主持制定的行業標準《噴霧式涂覆設備通用規范》正式頒布實施。
2016
芯源公司第600臺設備銷售出廠。
2017
芯源公司第700臺設備銷售出廠。
公司開發的國內首臺高產能前道Track設備“奉天一號”出廠進行工藝驗證。
2019年12月16日，芯源微在上交所科創板上市，成為遼寧省“科創板第一股”
2019
2020年7月27日，芯源公司高端晶圓處理設備產業化項目開工
2020
芯源微上海子公司成立
公司第1000臺設備銷售出廠
芯源微沈陽彩云路廠區竣工投產
日本子公司成立
芯源微第2000臺設備銷售出廠
